För helåret 2023 blev nettovinsten 7,8 miljarder euro (drygt 88,7 miljarder kronor). Som en jämförelse blev vinsten året innan 5,6 miljarder euro.
Vinstökningen för ASML, ett av Europas högst värderade bolag, kan ses som ett gott tecken på att det värsta kan vara över.
"Halvledarindustrin fortsätter att arbeta sig igenom botten av konjunkturcykeln", säger vd Peter Wennink i ett uttalande.
Företaget tror på en oförändrad försäljning i år, men att 2025 kommer att innebär en kraftig tillväxt.
Halvledarindustrin har blivit ett geopolitiskt slagfält, då västvärlden inte vill låta Kina få möjlighet att ta över. ASML har blivit en del av detta. För en tid sedan förhindrades ASML att exportera vad som enligt företaget beskrivs som "ett litet antal" maskiner till Kina, av rädsla för att chips skulle användas i avancerade vapensystem. Det finns uppgifter om att USA satt press på holländska myndigheter.